运动平台行程

≥250mmX250mm

定位精度

≤2μm

重复精度

≤1μm

X/Y轴运动平台

采用直线电机+光栅尺的控制方式

移动速度

≥500mm/s

X/Y轴移动分辨率

0.5μm

振镜分辨率

1μm

最大光学放大倍率

≥40倍

配置彩色相机像素

≥1200万

在线功率测量

有

自动功率补偿功能

有

表面金属层定深去除功能模块

有

根据设计的图形结构对金属层表面进行定深去除

有

自动生成加工轨迹的功能

有

最小加工线宽间距

≤0.04mm

金属层去除效率

≥5cm²/min（和材料种类及厚度有关）

加工精度

≤±5μm

激光器配置

配双光路系统，红外和紫外波段

AOD模块最高单脉冲控制频率

≥1.2MHz